클린룸의 정의
1. 클린룸 클린룸(clean room)이란 오염 제어가 행해지고 있는 한정된 공간으로, 공기 속에 포함되어 있는 먼지 뿐 아니라 온도, 습도, 실내 공기압, 가스성분, 정전기, 미진동, 전자파 등 환경조건이 제어되는 실(room)을 의미 한다. 여기서 공간이란 생물이나 미세입자를 제어할 수 있는 작은 실험용 벤치로부터 반도체나 디스플레이 등 산업용 제품을 생산할 수 있는 공장을 포함한다. 현재의 클린룸은 특별한 의미를 갖고 있고 ISO(international organization for standardization) 기준 14644-1에 다음과 같이 정의되어 있다. 실 내부에서 부유입자의 농도가 제어되고, 입자의 유입, 발생, 보유를 최소화하기 위한 방법으로 건설되어 유지되 며, 필요에 따라 연관된..
2019. 7. 31.
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